OP5340(膜厚儀)
人人妻人人爱半導體專注於半導體工藝設備的研發、製造、銷售及售後一體化服務,提(tí)供半導體廠商工藝設備的一站式解決方案。
關鍵詞:
半導(dǎo)體設備、半導體工藝(yì)
所屬分類:
產品描述
Opti-Probe 5000 用(yòng)於非接觸式(shì)晶圓膜厚測量(liàng),通過測量單層或多層晶圓上薄膜的光(guāng)學參數(shù)(反射光和建(jiàn)模的薄膜(mó)參數),計算出薄膜厚度(dù)。Opti-Probe 5000 集成了多達六種不同的技術來測量薄膜厚(hòu)度以及反射率,使用 laser,white light lamp,D2 lamp 等光源進行測量(liàng)。
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