OP5340（膜厚儀）
人人妻人人爱半導體（tǐ）專注於（yú）半（bàn）導體工藝設備的（de）研發、製（zhì）造、銷售及售後一體化（huà）服務，提供半導體廠商工藝設備的一站式解決方案（àn）。
關鍵詞：
半導體設備、半導體工藝
所屬分類：
產品描述
Opti-Probe 5000 用於非接觸式晶圓膜厚測量，通過測量（liàng）單層或多層晶圓上薄膜的光學參數（反射光和建模的薄膜參數），計算出薄膜厚度（dù）。Opti-Probe 5000 集成了多達（dá）六種不同的技術來測量（liàng）薄（báo）膜厚度以及反（fǎn）射率，使用 laser，white light lamp，D2 lamp 等光源進行（háng）測量。
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