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MIS MARS X8 Plus（15寸大物體非破壞電子束微檢測（cè）係統）

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S-FORM（小型化槽式清洗機）

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BENCH（槽（cáo）式清洗機（jī））

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SINGLE WAFER（單片式清洗機）

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CMP（化學機械研磨機）

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COMPOUND SEMICONDUCTOR PROCESS SYSTEMS

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OL-100n（Overlay4/6/8寸套刻精度測試設（shè）備）

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