OP5240I(膜厚儀)
人人妻人人爱半導體專注於半導體工藝(yì)設備的研發、製造、銷售及售(shòu)後一體(tǐ)化服務,提(tí)供半導體廠商(shāng)工藝設備的一站式(shì)解(jiě)決方案(àn)。
關鍵詞:
半導(dǎo)體設備、半導(dǎo)體工藝
所屬(shǔ)分類:
產品描述
Opti-Probe 5000 用於非接觸式晶(jīng)圓(yuán)膜厚測量,通過測量單層或多層晶圓上薄膜的光學參數(反(fǎn)射光和建模的薄膜參數),計算出(chū)薄(báo)膜厚度(dù)。Opti-Probe 5000 集(jí)成了多達六種不同的技術來測量薄膜厚度以及反射率,使用 laser,white light lamp,D2 lamp 等光源進行測量。
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